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單晶硅爐石墨防氧化涂料

簡要描述:直拉單晶爐的熱系統,也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統。單晶爐熱場的好壞直接關系到單晶硅的質量,合格的熱場能夠生長出高質量的單晶,因此創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素,志盛威華ZS-1052單晶硅爐石墨防氧化涂料可使石墨等多孔材料在高溫下保持很長時間不氧化,就保持了熱場的穩定性,從而可持續生長并拉出高質量的單晶。

  • 產品型號:ZS-1052
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-04-11
  • 訪  問  量:1009

詳細介紹

單晶硅拉晶爐的熱場離不開石墨材料(三瓣石墨坩堝及其組件)的高溫下高強度的工作。但是石墨在高溫環境下容易發生氧化,氧化后發生酥化失去應有的強度。觀察發現石墨的氧化程度會根據石墨生產中焦炭原料與制備方法有所不同,溫度520-560℃時24小時重量損失1%,繼續升溫下的氧化程度與石墨材料表面狀況(如粒徑,微孔大小、孔隙率、致密程度等)及潛在能量—活化能有關。溫度高于1200℃以上時,石墨的氧化速度隨著氧的擴散會變得更快。


為了減少石墨的氧化速度,增加它的使用壽命,提高單晶爐的工作穩定性及單晶硅的質量,單晶硅廠家可以選用志盛威華集團自主研發生產的ZS-1052單晶硅爐石墨防氧化涂料。該涂料采用的是樹脂主鏈熔斷技術,在高溫高壓的環境下將交聯羥基的硅氟樹脂均勻熔斷,形成納米級的雜環無機樹脂單體,成膜后耐溫可達1800℃。改性后的樹脂單體,在墨中滲透性強,包裹性好,可延長石墨制品在高溫下運行壽命5-8倍以上。


直拉單晶爐的熱系統,也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統。單晶爐熱場的好壞直接關系到單晶硅的質量,合格的熱場能夠生長出高質量的單晶,因此創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素,志盛威華ZS-1052單晶硅爐石墨防氧化涂料可使石墨等多孔材料在高溫下保持很長時間不氧化,就保持了熱場的穩定性,從而可持續生長并拉出高質量的單晶。


單晶爐石墨熱場一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、加熱器、電極、石墨坩堝(多為三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、導流筒、石墨螺栓,爐底、金屬電極、托桿等。這些組件都需要做抗氧化處理,才能保證高溫下保持穩定的強度和電性能。


志盛威華ZS-1052石墨抗氧化劑,與市場上同類材料相比有很多突出的優勢特點:
1.滲透包裹性好:涂料中含有大量改性的納米單體樹脂,滲透包裹性好。
2.附著力高:經過改性的柔性無機樹脂單體單獨成膜,具有大量的官能團,與基材形成一體化結構。
3.耐溫高:耐溫可達到1800度,高溫下氧閥值高,既不與氧化性介質反應,又能防止其進入,從而起到防氧化效果。
4.常溫下亦可起到防水防潮的作用。


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